微压差装置整体漏率测试方法研究

• 作者: 寇钰 尉伟 朱爱青 杨丹 王旭迪 田越 袁军行
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 微压差 整体漏率测量 基准物 温度补偿
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 27-31
• 页数: 5页
• 分类号: TB77
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2017.03.07

摘要

本文基于微压差装置整体漏率的传统测试方法中误差产生原因,选择刚性容器替代大气作为压强测量基准,通过温度计精确测量了微压差装置和基准容器的温度,并采用温度补偿修正泄漏差压以获得整体漏率.通过刚性容器膨胀实验对该方法进行验证,以密闭氧气枕为缩比模型,测量了500Pa微正压下的漏率,结果显示该方法可以获得良好的测量重复性,相对误差低于15％,为微压差装置整体漏率的精确测量奠定了技术基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尉伟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	21	104	7.0	9.0
2	王旭迪	合肥工业大学机械工程学院真空与过装系	40	192	9.0	12.0
3	袁军行		8	12	2.0	3.0
4	杨丹		17	39	3.0	4.0
5	田越		4	12	1.0	3.0
6	寇钰	合肥工业大学机械工程学院真空与过装系	1	1	1.0	1.0
7	朱爱青	合肥工业大学机械工程学院真空与过装系	3	6	2.0	2.0