浅谈多步扩散制备太阳电池PN结工艺

• 作者: 赵学玲
• 来源期刊: 电子科学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多步扩散制备法 太阳能PN结 中间层技术 隧穿结技术
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 基础电子
• 页码范围: 14-16,19
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 2695字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16453/j.issn.2095-8595.2017.02.004

摘要

针对太阳能电池PN结制备技术,本文分析工艺设计过程中,硅片磷浓度分布情况会给电池性能造成极大的影响.现有的太阳电池PN结制备工艺中,多步扩散制备工艺具有较强的应用优势,能够减少死层,增加电活性磷掺杂量.文中重点对多步扩散制备工艺的应用相关问题,以及硅基薄膜多结太阳能制备的其他工艺,做了简单的论述分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵学玲		1	4	1.0	1.0