基于ZnO的微气体传感器的设计与优化

• 作者: 何越 刘丽 刘震 官修龙 王连元
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 有限元分析 ZnO 微气体传感器 优化设计 温度分布 磁场分布
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 62-65
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 1475字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2017.06.012

摘要

设计了一种新型ZnO微气体传感器的结构,利用有限元分析软件ANSYS对该传感器的结构进行了分析,并对传感器的基底三层材料的厚度、加热电极的宽度和间距以及测量电极的宽度参数进行了优化,结果得出:当传感器基底中前SiO2层、中间Si层、后SiO2层的厚度分别为10,140和150 μm,加热电极和测量电极宽度均为30 μm,加热电极的间距为100 μm,此时传感器的ZnO材料工作区域可获得最佳的温度分布和磁场分布,有利于传感器整体性能的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丽	吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室	177	1268	17.0	27.0
2	王连元	吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室	23	116	7.0	10.0
3	何越	吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室	19	32	3.0	4.0
4	官修龙	吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室	1	1	1.0	1.0
5	刘震	吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室	9	29	3.0	5.0