超声振动辅助激光退火对FTO薄膜光电性能的影响

• 作者: 任乃飞 曹海迪 李保家 祖伟 黄立静
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 掺氟二氧化锡(FTO) 超声振动 激光退火 光电性能
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1083-1088
• 页数: 6页
• 分类号: TG156|TN249|TB34
• 字数: 2980字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20160695

摘要

在激光退火处理掺氟二氧化锡(FTO)透明导电薄膜过程中引入超声振动,研究了超声振动辅助激光退火对FTO薄膜晶体结构、表面形貌和光电性能的影响.结果表明:与未施加超声振动时相比,该方法可使薄膜上下位移而引起激光聚焦状态发生连续变化,由此保证薄膜处于最佳退火范围内,同时还可使薄膜表面激光熔融区域的颗粒被振动分散,由此抑制颗粒团聚,提高颗粒分布的均匀性和致密度,最终有效地改善薄膜的光电性能.当振动功率为300W时,薄膜表面结构最为均匀、致密和平整,此时光电性能达到最佳,它在400~800nm波段的平均透光率为84.7%,方块电阻为9.0?/□.