纳米氧化铟/硅纳米孔柱阵列的酒敏特性

• 作者: 冯明海 刘伟康 朱文亮 李新建 王伶俐 王文闯
• 来源期刊: 郑州大学学报（理学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 硅纳米孔柱阵列 氧化铟 气体传感器
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 页码范围: 70-74
• 页数: 5页
• 分类号: TB381
• 字数: 2939字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13705/j.issn.1671-6841.2016224

摘要

以硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)为衬底、高纯金属铟为铟源,采用化学气相沉积法制备了氧化铟(In2O3)/Si-NPA复合纳米体系,并对其表面形貌和结构进行了表征.结果表明,In2O3/Si-NPA中In2O3具有体心立方结构,其薄膜由粒径为100~400 nm的纳米颗粒和长约为1 μm、直径约为300 nm的纳米棒组成,而这些纳米颗粒、纳米棒均由平均粒径约为19 nm的In2O3纳米晶粒组成.气体传感性能测试结果表明,In2O3/Si-NPA对低含量酒精具有较高的响应度和良好的选择性.当酒精的体积分数为2×10-6时,器件的响应值达到463%,响应和恢复时间分别为15 s和8 s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李新建	郑州大学物理工程学院	52	218	8.0	13.0
2	刘伟康	郑州大学物理工程学院	6	9	2.0	3.0
3	王文闯	河南工程学院理学院	2	2	1.0	1.0
4	王伶俐	郑州轻工业学院物理与电子工程学院	7	6	2.0	2.0
5	朱文亮	郑州大学物理工程学院	2	0	0.0	0.0
6	冯明海	郑州大学物理工程学院	2	0	0.0	0.0