粗真空、中真空获得设备的最新进展与应用

• 作者: 姜燮昌
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 滑阀泵 罗茨泵 干式螺杆真空泵 真空技术的应用
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TB752+.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2017.03.01

摘要

随着真空应用技术的发展,对真空获得设备的要求愈来愈高.真空泵必须是低振动、低噪声、高可靠、耐腐蚀、清洁无油.本文介绍了最新的粗真空、中真空泵的结构与性能以及它们在光伏行业、制药工业、汽油蒸汽回收以及空间模拟方面的应用.