低温挥发-电感耦合等离子质谱法测定高纯三氯氢硅中十三种杂质

• 作者: 刘英杰 李沅庭 郑华荣
• 来源期刊: 现代冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 电感耦合等离子质谱法 低温挥发 碰撞反应池 高纯三氯氢硅
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TG115.3+3
• 字数: 1755字
• 语种: 中文

摘要

阐述了测定高纯三氯氢硅中十三种杂质的方法,操作过程简单、快速、高效,准确度较高,能很好地满足对高纯三氯氢硅中杂质的质量控制要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘英杰		1	0	0.0	0.0
2	李沅庭		1	0	0.0	0.0
3	郑华荣		3	4	2.0	2.0