高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制

• 作者: 何熙 冯涛 史晔 张海军 方辉 李军利 李煜 谭果 郭健海
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷 红外焦平面 氧化钒 读出电路
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 785-793,797
• 页数: 10页
• 分类号: TN215
• 字数: 5143字
• 语种: 中文

摘要

研制出一款640×512高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器.读出电路输入级采用镜像电路获得盲像元(Rd)和感光像元(Rs)电流差的积分电流(Iint),并能够有效抑制输入偏压噪声;同时采用逐行积分、逐列读出模式.氧化钒采用单层微桥工艺;像元桥臂间距缩至0.8μm,以尽可能增大桥面及VOx面积,有效提高像元响应率.器件采用高可靠性的金属真空封装.测试结果表明,器件的噪声等效温差(NETD)小于45 mK,响应率大于15 mV/K,热响应时间小于10 ms.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李煜		10	26	3.0	4.0
3	冯涛		2	71	2.0	2.0
6	方辉		4	11	2.0	3.0
7	谭果		4	8	2.0	2.0
8	史晔		2	4	1.0	2.0
9	郭健海		2	4	1.0	2.0
10	李军利		2	6	2.0	2.0
11	何熙		1	4	1.0	1.0