调制比对ZrN/NbB2纳米多层薄膜结构和机械性能的影响

• 作者: 刘宸宇 吴萍 李德军 王明霞 黄洁
• 来源期刊: 天津师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频磁控溅射 调制比例 ZrN/NbB多层薄膜 机械性能
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 物理与材料科学
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: O484.2
• 字数: 2491字
• 语种: 中文

摘要

为了研究调制比对ZrN/NbB2多层薄膜结构与力学性能的影响,采用超高真空射频磁控溅射技术在Si(100)基底表面上沉积合成具有不同调制比的ZrN/NbB2多层薄膜,并利用X线衍射仪器(XRD)、表面轮廓仪(XP-2)和纳米压痕仪分别对ZrN/NbB2薄膜的结构特征以及硬度、应力、弹性模量和结合力等机械性能进行研究.结果表明:不同调制比的ZrN/NbB2多层薄膜结构中均出现了NbB2(001)、NbB2(002)和ZrN(111)衍射峰.随着调制比tZrN∶tNbB从2∶1变化为1∶4,ZrN/NbB2纳米多层膜的硬度和弹性模量均呈现先增后减的变化趋势,且在tZrN∶tNbB2=2∶3时,多层膜硬度和弹性模量分别达到39.29 GPa和428.47 GPa的最大值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王明霞	天津师范大学物理与材料科学学院	15	45	5.0	5.0
3	李德军	天津师范大学物理与材料科学学院	73	242	7.0	11.0
4	吴萍	天津大学理学院	23	263	9.0	16.0
5	刘宸宇	天津师范大学物理与材料科学学院	2	0	0.0	0.0
8	黄洁	天津师范大学物理与材料科学学院	1	0	0.0	0.0