宏微双级驱动精密定位平台的建模与控制

• 作者: 李彤彤 田艳兵 程龙 韩森
• 来源期刊: 液压气动与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 双级驱动 精密定位 建模 波纹管 音圈电机
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 系统与应用
• 页码范围: 59-63
• 页数: 5页
• 分类号: TP242
• 字数: 2464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0813.2017.01.016

摘要

为实现定位系统在大行程中高精度定位,设计了一种宏微双级驱动精密定位平台.采用金属波纹管直接驱动宏动平台,实现了系统大行程进给.安装在宏动平台上的音圈电机驱动微动平台,补偿宏动平台产生的误差并实现系统的高精度定位.采用双光栅检测方案,增量式光栅反馈宏动平台的位置信号,绝对式高精度光栅反馈微动平台的位置信号,实现二级精密驱动定位系统的全闭环控制设计.分别对宏动平台和微动平台建立数学模型,提出宏动平台带前馈的PID闭环控制和微动平台的神经网络PID复合控制方案.实验结果表明:该定位系统能满足大行程高精度的定位要求,在50mm的行程中重复定位精度能达到0.6μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田艳兵	青岛理工大学自动化工程学院	25	142	6.0	11.0
2	韩森	青岛理工大学自动化工程学院	6	15	3.0	3.0
3	李彤彤	青岛理工大学自动化工程学院	3	7	2.0	2.0
4	程龙	青岛理工大学自动化工程学院	3	8	2.0	2.0