能量回馈型脉冲磁控溅射电源仿真研究

• 作者: 刘洋 张秀梅 李红泽 陈江洋
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲磁控溅射电源 脉冲发生电路 能量回馈 ARM
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TN86
• 字数: 2042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2017.02.14

摘要

本文设计了一种基于ARM数字化控制的能量回馈型脉冲溅射电源,系统采用ARM作为控制器,用于控制PWM驱动信号的产生.详细介绍了脉冲发生电路拓扑结构、分析了脉冲发生电路的工作原理以及控制方法的选用.经MATLAB仿真验证,该电源具有动态特性好,控制简单可靠,能量回馈的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张秀梅	长春工业大学电气与电子工程学院	14	7	2.0	2.0
2	刘洋	长春工业大学电气与电子工程学院	41	69	5.0	7.0
3	李红泽	长春工业大学电气与电子工程学院	2	0	0.0	0.0
4	陈江洋	长春工业大学电气与电子工程学院	1	0	0.0	0.0