宏/微运动控制的电感传感器动静态校准装置

• 作者: 匡也 唐杨超 张海波
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 宏/微控制 校准装置 电感传感器校准 动力学建模 动静态校准
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 计算机与控制系统
• 页码范围: 79-83,88
• 页数: 6页
• 分类号: TP23
• 字数: 3475字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2017.10.019

摘要

为改善电感位移校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏/微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围定位.在简述校准方法工作原理及结构之后,对以静压双V导轨/直线电机组合的宏动平台及以柔性铰链/压电陶瓷组合的微动平台进行动力学建模,并获得宏微平台的传递函数.设计微动跟随宏动和宏动跟随微动两种控制策略,并进行建模和仿真分析,对比两种控制策略下的测量结果并分析原因.设计并搭建实验平台后进行校准装置的性能测试,实验结果表明:宏动跟随微动控制策略具有更高的动态频响性能,校准装置在全行程20 mm内分辨力达到5 nm,在幅值为0.05 mm的正弦频率响应实验中,动态频响达到100 Hz,可满足电感传感器的动静态校准要求.