气相色谱法测定高纯三氯氢硅中的总碳含量

• 作者: 刘新军 刘英杰 柯尊斌 郑华荣
• 来源期刊: 中国无机分析化学
• 学科: 化学
• 关键词: 高纯三氯氢硅 氢气还原炉 总碳 气相色谱
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 冶金与材料
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: O657.7+1|TH833
• 字数: 2241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1035.2017.01.015

摘要

将高纯三氯氢硅中的含碳物质在氢气还原炉内转化成甲烷,利用配备氢火焰离子化检测器的气相色谱仪进行测定,最后换算成总碳的含量.结果发现,高纯三氯氢硅中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基二氯硅烷等可能的含碳物质在转化炉内均具有良好的转化率,转化率大于85％.样品中含碳量的测定结果之间重复性好,精密度较高,相对标准偏差均小于10％.方法简单、快捷,准确度高,能很好地满足高纯三氯氢硅样品中对含碳物质的质量控制要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘新军		3	2	1.0	1.0
2	郑华荣		3	4	2.0	2.0
3	刘英杰		2	4	2.0	2.0
4	柯尊斌		2	4	2.0	2.0