多功能真空校准装置

• 作者: 干昱颋 彭光东 李宏宇 李民 谢文绚 陈丽
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空规 校准 漏孔 比对法
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TB77
• 字数: 4204字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2017.02.12

摘要

为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要,研制了多功能真空校准装置.该装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准,同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准.装置选用静态比对法、动态比对法、质谱比对法设计建成,真空校准范围为1.33×105Pa～1×10-4pa,真空漏孔校准范围为5× 10-5～5× 10-9Pa·m3/s,装置智能化水平高,操作简便,适合真空规管的批量校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭光东		9	21	3.0	4.0
3	陈丽		19	24	3.0	4.0
6	李民		4	1	1.0	1.0
7	李宏宇		7	6	1.0	2.0
8	干昱颋		1	0	0.0	0.0
9	谢文绚		1	0	0.0	0.0