热式MEMS流量传感器的设计及测试

• 作者: 刘亚伟 吕品 杨露露 胡国俊 胡梦飞 谷永先
• 来源期刊: 锻压装备与制造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热串扰 微机电系统 悬臂梁 恒温差 模数转换 串口通信
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 装备
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2600字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16316/j.issn.1672-0121.2017.04.010

摘要

根据已有的热式MEMS气体微流量传感器芯片的各部分热敏电阻热串扰现象严重,造成很大的测量误差,改进设计了一种MEMS热式流量传感器,将加热电阻和上下游测温电阻采用悬臂梁隔离结构,并相互隔离,有效的避免了热膜流量传感器各部分热敏电阻间相互热串扰现象.基于改进的MEMS热式流量传感器,设计了流量传感器的测试系统,包括恒温差电路、桥式测量电路及放大、滤波电路,所采集的流量信号经过滤波放大后输入AD模块进行模数转换,最后经过单片机处理,利用单片机与计算机串口通信功能,在不同流速下打印出不同的电压值;通过Matlab对所测出的数据进行拟合,完成对传感器性能的检测.测量结果表明:在一定的流量范围内,该流量传感器具有测量精度高、响应速率快、输出信号平滑等特点,能够广泛应用于工业、医疗领域的流量测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘亚伟	合肥工业大学工业与装备技术学院	3	3	1.0	1.0
2	胡梦飞	合肥工业大学工业与装备技术学院	3	3	1.0	1.0
3	杨露露	合肥工业大学工业与装备技术学院	6	17	2.0	4.0
4	胡国俊	中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心	9	14	2.0	3.0
5	吕品	合肥工业大学工业与装备技术学院	4	3	1.0	1.0
6	谷永先	中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心	4	7	2.0	2.0