离轴非球面在细磨与粗抛阶段的波面再现技术

• 作者: 何丽 孔维斌 康燕 朱永田 武中华 苏志德 袁吕军
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 离轴非球面 付科法 光学检测 波面再现
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 123-129
• 页数: 7页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20174603.0322002

摘要

基于付科法的离轴非球面波面再现检测技术,通过对付科检测过程的数学分析,建立了离轴非球面波面再现的数学模型,提出了波面整合算法,通过对两幅阴影图灰度值积分、去倾斜及波面整合等数据处理再现出被检离轴非球面的波面误差.在被检离轴非球面两个方向的弥散斑分别为0.152 mm和0.284 mm时,干涉检测得到其面形误差峰谷值为1.110 μm、均方根值为0.194 μm,且两种检测方法的波面轮廓相一致.实验结果验证了基于付科法的离轴非球面再现技术的正确性,可以应用于指导离轴非球面在细磨粗抛阶段的加工并且实现与精抛光阶段干涉检测的有效衔接.