图像拼接技术在台阶高度样块评定中的应用

• 作者: 冯亚南 李锁印 赵琳 韩志国
• 来源期刊: 上海计量测试
• 关键词: 图像拼接 台阶高度 评定方法 匹配点
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 44-46,48
• 页数: 4页
• 字数: 1456字
• 语种: 中文

摘要

研究了目前国际上通用的图像拼接技术,针对白光干涉方法测量台阶高度样块图像视场区域小的问题,提出了一种使用台阶边缘作为匹配点、基于三维点集的台阶样块图像拼接方案,实现了台阶样块图像三维自动拼接,满足了按照国际通用的单线评价法对台阶高度进行评定的要求.使用美国VLSI公司的有证台阶高度标准样块对软件拼接准确度进行了验证.验证结果表明,最大差值为1.3 nm,偏差在VLSI给出的测量不确定度范围之内,显示出该图像拼接技术的有效性和高准确度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李锁印	中国电子科技集团公司第十三研究所	27	40	3.0	5.0
2	韩志国	中国电子科技集团公司第十三研究所	20	26	3.0	4.0
3	赵琳	中国电子科技集团公司第十三研究所	20	27	3.0	3.0
4	冯亚南	中国电子科技集团公司第十三研究所	12	18	2.0	3.0