基于不穿丝技术的小孔径拉丝模HFCVD金刚石涂层的温度场仿真及实验研究

• 作者: 丁超越 孙方宏 王新昶
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 不穿丝技术 温度场仿真 HFCVD金刚石薄膜 拉丝膜 小孔径
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 633-639
• 页数: 7页
• 分类号: TQ164|TG76
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.06.15

摘要

针对金刚石涂层在小孔径内孔上制备的难点,提出双层热丝布局的不穿丝技术来实现热丝化学气相沉积金刚石薄膜在小孔径拉丝模内孔的沉积.基于有限容积法和正交试验法,对关键沉积区域基体进行了温度场仿真分析,对热丝参数(直径D1、D2,热丝与基体间距S1、S2)进行了仿真优化.选取优化参数组合进行了小孔径拉丝模金刚石涂层制备实验,分别采用扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对上述方法制备的金刚石涂层进行了表征.结果表明:通过上述优化及实验在小孔径拉丝模内孔表面成功沉积了高质量,均匀性好的金刚石涂层,为其批量化制备提供了关键技术支撑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙方宏	上海交通大学机械与动力工程学院	91	969	17.0	25.0
2	丁超越	上海交通大学机械与动力工程学院	1	2	1.0	1.0
3	王新昶	上海交通大学机械与动力工程学院	15	54	4.0	7.0