自动金丝键合参数的影响及其优化

• 作者: 刘波 崔洪波 王腾飞 苏海霞
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金丝键合 金丝变形 超声功率 键合压力 正交试验
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 微组装技术 SMT PCB
• 页码范围: 102-106
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 3738字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2017.02.012

摘要

通过控制单一变量的试验方法,研究了金丝变形度、超声功率、超声时间和键合压力等参数对自动键合一致性和可靠性的影响,分析了每个参数对自动键合的影响规律,给出了自动键合参数的参考范围.通过正交试验方法,优化了键合参数组合,并进行试验验证.给出了不同基材自动键合的参数参考范围,对自动键合工艺具有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘波		21	58	4.0	7.0
2	崔洪波		8	22	3.0	4.0
3	苏海霞		1	9	1.0	1.0
4	王腾飞		2	9	1.0	2.0