一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的研制

• 作者: 唐兴斌 李凯 李明 王超刚 肖滋兰
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 四极杆质谱仪 ARM微控制器 CAN通讯 级联控制
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 31-35
• 页数: 5页
• 分类号: TB771
• 字数: 2367字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2017.02.08

摘要

本文介绍了一种基于ARM微控制器的真空测量及控制系统.系统由ARM微控制器、ADC采集电路、CAN通讯接口、HM-TRP无线收发模块、上位机和真空规组成.将其应用于四极杆质谱仪,能同时测量接口、离子传输和四极杆三个部分的真空度,并据此实现了仪器单元的级联控制和仪器的流程控制;同时,将各个部分的真空度上传至上位机显示以及通过无线模块传送至显示终端进行显示和控制.将该系统应用于钢研纳克检测技术有限公司的PlasmaMS 300仪器,实验表明,该系统能准确且稳定地实时监测仪器的真空度,确保了仪器的正常工作及关键部件的安全;同时,部件间的级联控制和整机流程控制进一步提高了仪器的自动化程度和可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李明		88	1271	18.0	33.0
2	王超刚		5	29	3.0	5.0
3	唐兴斌		6	14	2.0	3.0
4	李凯		8	16	2.0	3.0
5	肖滋兰		1	1	1.0	1.0