预氮化对复合CrTiAlN薄膜组织和摩擦性能的影响

• 作者: 娄文雅 徐建龙 徐斌 李晓 楼白杨
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: CrTiAlN硬质膜 微观结构 磨粒磨损 离子渗氮
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 628-632
• 页数: 5页
• 分类号: TB31
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.06.14

摘要

采用物理气相沉积技术和离子氮化技术,在模具钢表面形成氮化层和氮化层/多元复合CrTiAlN硬质薄膜.采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、能谱仪研究了氮化处理对多元复合CrTiAlN硬质薄膜组织结构的影响;通过硬度仪和摩擦磨损测试仪等手段研究了氮化处理对多元复合CrTiAlN硬质薄膜的磨损性能的影响.研究结果表明,薄膜表面光滑平整,呈柱状晶生长,无明显缺陷.渗氮处理能够提高CrTiAlN薄膜耐磨损性能和与基体的结合强度.随着载荷从5到30 N的增加,薄膜的磨损率逐渐增加,而摩擦系数却有下降趋势.薄膜的摩擦系数随着磨粒粒径的变大先增大后减小;磨粒粒径分别为10、20 μm时,未经渗氮和经渗氮后的薄膜摩擦系数达到最大值,分别为0.42和0.36.同时随着磨粒粒径的增加,摩擦系数曲线振动幅度也逐渐增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓	浙江工业大学材料科学与工程学院	40	284	10.0	15.0
2	徐斌	浙江工业大学材料科学与工程学院	41	231	9.0	13.0
3	楼白杨	浙江工业大学材料科学与工程学院	54	234	9.0	12.0
4	娄文雅	浙江工业大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
5	徐建龙	浙江工业大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0