太阳能硅片切割废砂浆中碳化硅陶瓷材料的回收研究

• 作者: 付博 刘海洋 吴琼 康子薇 李金元 李骞 洪铎 蒋新宇
• 来源期刊: 陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅 陶瓷材料 切割废砂浆 回收
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 特种陶瓷
• 页码范围: 51-54
• 页数: 4页
• 分类号: TQ175
• 字数: 3091字
• 语种: 中文

摘要

硅片是半导体、太阳能等行业的基本材料,在硅片切割加工的废料中,含有大量的碳化硅、硅粉和铁屑.回收的碳化硅陶瓷材料,可用于硅片切割,也可用于制造半导体、功能陶瓷等.笔者以工厂提供的太阳能硅片切割废砂浆为原材料,对废砂浆进行分离提纯,对回收的碳化硅进行了X射线衍射、扫描电镜、粒度表征等分析.将酸浸除铁后的废砂在硝酸和氢氟酸作用下腐蚀硅,并检验了温度、混合酸比例、反应时间、液固比对实验的影响.通过正交实验确定最佳条件为40℃,液固比为3∶1,混合酸为硝酸:氢氟酸为5∶8,反应时间为1.5h,碳化硅的纯度为98%.