蓝宝石衬底上VO2薄膜的PLD外延生长

• 作者: 刘坤 宗海涛 康朝阳 张聪 曹国华 李明 程静云
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 蓝宝石 脉冲激光沉积 VO2薄膜 金属-绝缘转变
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 623-627
• 页数: 5页
• 分类号: O781
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.06.13

摘要

采用脉冲激光沉积技术,在c面蓝宝石衬底上制备出了VO2薄膜.利用X射线衍射、Raman光谱、原子力显微镜对生长的样品的结构和表面形貌进行了表征;利用霍尔效应测试仪和紫外-可见-红外光分光光度计分别测试薄膜的方块电阻和透过率.结果表明:在蓝宝石衬底上生长出了结晶性能良好的VO2薄膜;相变前后其方块电阻变化高达4个数量级,红外透过率的变化高达56%.VO2薄膜表现出了良好的金属-绝缘转变特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宗海涛	河南理工大学物理与电子信息学院	7	12	3.0	3.0
2	李明	河南理工大学物理与电子信息学院	24	58	4.0	6.0
3	康朝阳	河南理工大学物理与电子信息学院	6	13	3.0	3.0
4	曹国华	河南理工大学物理与电子信息学院	10	33	3.0	5.0
5	刘坤	河南理工大学物理与电子信息学院	2	3	1.0	1.0
6	张聪	河南理工大学物理与电子信息学院	2	7	2.0	2.0
7	程静云	河南理工大学物理与电子信息学院	2	6	2.0	2.0