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浅谈扩散工艺在半导体生产中的应用
浅谈扩散工艺在半导体生产中的应用
作者:
薛宏菊
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
摘要:
扩散工艺是半导体生产整个工艺流程中使比较普遍的,而又极其关键的一个环节.本文在对扩散定义以及在半导体工艺流程中扩散工艺的作用原理的基础上,并结合传统的扩散工艺存在的自行运转能力低的现状.
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篇名
浅谈扩散工艺在半导体生产中的应用
来源期刊
大科技
学科
工学
关键词
年,卷(期)
2017,(10)
所属期刊栏目
工艺与设备
研究方向
页码范围
248
页数
1页
分类号
TN305
字数
2169字
语种
中文
DOI
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