浅谈扩散工艺在半导体生产中的应用

• 作者: 薛宏菊
• 来源期刊: 大科技
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 248
• 页数: 1页
• 分类号: TN305
• 字数: 2169字
• 语种: 中文

摘要

扩散工艺是半导体生产整个工艺流程中使比较普遍的,而又极其关键的一个环节.本文在对扩散定义以及在半导体工艺流程中扩散工艺的作用原理的基础上,并结合传统的扩散工艺存在的自行运转能力低的现状.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛宏菊		2	0	0.0	0.0