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摘要:
扩散工艺是半导体生产整个工艺流程中使比较普遍的,而又极其关键的一个环节.本文在对扩散定义以及在半导体工艺流程中扩散工艺的作用原理的基础上,并结合传统的扩散工艺存在的自行运转能力低的现状.
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扩散工艺
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 浅谈扩散工艺在半导体生产中的应用
来源期刊 大科技 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2017,(10) 所属期刊栏目 工艺与设备
研究方向 页码范围 248
页数 1页 分类号 TN305
字数 2169字 语种 中文
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