微米级圆孔孔径的光电检测

• 作者: 刘佐濂 周斌 张成云 程朗 马浩
• 来源期刊: 大学物理
• 学科: 工学
• 关键词: 微米孔径 圆孔衍射 光电检测 双光路 激光
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 物理实验
• 页码范围: 38-40,44
• 页数: 4页
• 分类号: TP216|TN29
• 字数: 2139字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16854/j.cnki.1000-0712.2017.11.010

摘要

工业生产中经常需要测量微米级圆孔孔径的大小.基于圆孔的夫琅禾费衍射原理,激光经过圆孔衍射在接收屏上形成圆环型条纹分布,孔径改变时,艾里斑区域的激光能量密度随之改变,利用光电池作为光电探测器,只接收大部分艾里斑中心光强信号而屏蔽其他高级次的衍射亮环,光电池输出的电压值反应了孔径直径大小.单片机作为控制系统,采用双光路的光电检测方法,搭建了检测系统.利用已知孔径的圆孔标定系统后,获得电压信号与孔径大小的对应关系,通过拟合可以得到检测系统的函数关系式.实验表明,可以实现50～300μm孔径大小的检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘佐濂	广州大学物理与电子工程学院	41	89	5.0	6.0
2	张成云	广州大学物理与电子工程学院	16	28	3.0	4.0
3	程朗	广州大学物理与电子工程学院	1	4	1.0	1.0
4	马浩	广州大学物理与电子工程学院	2	6	2.0	2.0
5	周斌	广州大学物理与电子工程学院	1	4	1.0	1.0