皮秒激光微制造As2Se3玻璃红外增透性表面

• 作者: 季凌飞 徐博 杨强 林真源 燕天阳 王文豪
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 皮秒激光 As2Se3硫系玻璃 表面微结构 增透 接触角
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 光电进展
• 页码范围: 1200-1209
• 页数: 10页
• 分类号: TN249
• 字数: 4508字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2017.12.008

摘要

采用紫外皮秒激光在As2Se3玻璃表面以线扫描形式快速制备大面积周期性点阵式增透微结构,获得了红外透光性能提高的硫系玻璃样品.研究确定了As2Se3玻璃的激光刻蚀阈值,并研究设计了合适线扫描工艺方法.所制样品相对于原样在波长11.0μm~12.4μm范围内,透过率平均提高10.0%;波长13.0μm~14.2μm范围内,透过率平均提高5.2%.激光扫描制备方法没有破坏样品表面原有的浸润性,整个制备过程均在空气开放环境下进行,成本低,工艺可控性强,效率高,制备8 mm×8 mm的表面微结构,仅用时3.65 s,且表面微结构单元尺寸及间距可按材料应用需求调控.分析表明,当激光能量较低时,对该硫系玻璃的去除以"冷加工"为主,不会有明显的热效应,得到微结构的硫系玻璃表面元素组成未发生改变;激光能量较高时,会存在一定的热效应,使得刻蚀点出现熔融态,在微坑边缘出现凸起或翻边.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季凌飞	北京工业大学激光工程研究院	33	207	7.0	14.0
2	徐博		2	3	1.0	1.0
3	林真源	北京工业大学激光工程研究院	7	7	2.0	2.0
4	燕天阳	北京工业大学激光工程研究院	4	7	2.0	2.0
5	王文豪	北京工业大学激光工程研究院	5	9	2.0	3.0
6	杨强	北京工业大学激光工程研究院	3	7	2.0	2.0