石英晶体微天平在HL-2A装置上的应用

• 作者: 吴婷 才来中 曾晓晓
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 工学
• 关键词: 石英晶体微天平 沉积 HL-2A装置 偏滤器 等离子体与材料的相互作用
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 等离子体物理学
• 页码范围: 144-151
• 页数: 8页
• 分类号: TL65+9
• 字数: 4521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16568/j.0254-6086.201702004

摘要

在HL-2A装置上采用石英晶体微天平(QCM)测量碳元素及其化合物的沉积质量,从测量的数据可知,每次等离子体放电后QCM的沉积量都会有细微变化,每次放电测得的沉积质量约为0.1~10μg.沉积量的变化与沉积物质再腐蚀或者溅射有关.根据一天的测量结果,可以计算得出HL-2A装置偏滤器区域平均每次放电(非H模放电)的沉积厚度约为10nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	才来中		6	12	2.0	3.0
2	曾晓晓		2	3	1.0	1.0
3	吴婷		2	3	1.0	1.0