基于后焦面成像的聚合物平面波导光学参数测量仪

• 作者: 张斗国 施矾 朱良富 邱冬
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 波导光学 后焦面成像 光学参数测量仪
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 波导与纤维光学
• 页码范围: 374-378
• 页数: 5页
• 分类号: TN252
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2017.03.017

摘要

基于后焦面成像确定波导传播特性的基本原理,结合平面波导中的菲涅尔反射理论,设计了一种聚合物平面波导光学参数测量仪.通过MATLAB拟合处理数据实现了对样品局部折射率和厚度高精度、高空间分辨率的实时测量,平面波导厚度测量精度可以达到纳米量级,空间分辨率可达到300 nm.该测量仪结构简单、易于操作,在光学传感和细胞内生物传感领域具有很高的应用价值.