应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计

• 作者: 刘俊男 刘腾飞 薛松 陈明 黄化岩
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 同步辐射光源 涡旋干泵 性能测试
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备
• 页码范围: 14-18
• 页数: 5页
• 分类号: TB79
• 字数: 3337字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2017.02.04

摘要

涡旋干泵是世界范围内同步辐射光源应用较多的真空获得设备,为满足同步辐射光源真空系统清洁、稳定和排气量大的需求,对涡旋干泵极限压力、抽气速率和清洁度三个性能有很高的要求.设计了一套涡旋干泵性能测试的综合平台并通过实际干泵测试来检验平台的设计.测试结果表明,综合性能平台能有效得测试上述涡旋干泵性能指标,为应用于同步辐射光源的涡旋干泵选泵工作提供测试手段和平台.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈明	中国科学院上海应用物理研究所	53	296	7.0	16.0
2	薛松	中国科学院上海应用物理研究所	49	210	8.0	12.0
3	黄化岩	中国科学院上海应用物理研究所	4	3	1.0	1.0
4	刘俊男	中国科学院上海应用物理研究所	5	5	1.0	2.0
5	刘腾飞	中国科学院上海应用物理研究所	1	0	0.0	0.0