适用于AFM的数字智能反馈控制器设计

• 作者: 吴森 王艳艳
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 工学
• 关键词: AFM 数字反馈 模糊控制
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 113-119
• 页数: 7页
• 分类号: TP391.9|TG115.21+5.7
• 字数: 3754字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.2017.02.004

摘要

原子力显微镜(AFM)是进行纳米测量和操作的一种重要工具.近年来,纳米科技的迅速发展使得传统AFM越来越无法满足纳米测量快速和高分辨率的测试需求,而反馈控制器的速度是限制AFM成像速度和分辨率的关键因素之一.为此,本文搭建基于高速数字信号处理器(DSP)的数字反馈控制系统,将模糊控制算法与比例积分PI控制算法结合,利用模糊规则自动选择合适的比例和积分参数,改善Z向反馈系统的鲁棒性.基于自制的AFM系统,将该方法与传统PI控制算法进行对比实验,在相同的扫描条件下,该数字智能反馈控制器可在扫描范围为30μm×30μm时,将AFM的行扫描速度由3 Hz提高到40 Hz,验证了该方法能够有效改善AFM的扫描速度和成像分辨率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴森	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	13	62	4.0	7.0
2	王艳艳	天津职业技术师范大学天津市信息传感与智能控制重点实验室	7	36	4.0	5.0