MEMS火工品换能元的研究进展

• 作者: 任炜 尹明 张彬 李慧 王可暄 褚恩义
• 来源期刊: 含能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS)火工品 换能元 薄膜桥 桥区结构
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 428-436
• 页数: 9页
• 分类号: TJ55
• 字数: 4939字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11943/j.issn.1006-9941.2017.05.013

摘要

换能元作为微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)火工品的核心部件,是MEMS火工品安全性和可靠性的重要影响因素,对整个武器系统的影响也是不可忽视的.文中从换能元的基底和电阻材料研究、结构设计等角度, 综述了近年来MEMS火工品换能元的最新发展研究.介绍了MEMS火工品换能元的两大关键技术: MEMS火工品换能元的设计制备方法以及换能元性能参数的测试表征.指出:具有微型化、集成化、多功能化和高可靠性的MEMS火工品换能元是未来研究的热点.为MEMS火工品换能元的设计研究提供理论支撑, 应加强微尺度下的热散失特性以及桥区电阻特性研究.认为复合含能薄膜桥换能元是MEMS火工品换能元的一个重要发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚恩义	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	24	82	5.0	7.0
2	王可暄	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	10	52	5.0	7.0
3	任炜	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	12	36	3.0	5.0
4	尹明	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	6	17	2.0	4.0
5	李慧	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	8	25	3.0	4.0
6	张彬	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	2	14	2.0	2.0