水溶液显影环氧乙烷光刻胶的显影条件及机理探索

• 作者: Robert A.HAYES 周国富 李发宏 李岚慧 水玲玲 窦盈莹
• 来源期刊: 华南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 电润湿 光刻胶 水性显影液
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 物理学与光学工程
• 页码范围: 40-45
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4870字
• 语种: 中文
• DOI: 10.6054/j.jscnun.2017052

摘要

电润湿器件的传统工艺中利用SU-8光刻胶材料制备像素墙,从而得到最小的显示单元——像素.文中通过实验发现另一种环氧树脂光刻胶(KMPR胶)可以代替传统的SU-8光刻胶用来制备电润湿器件的像素墙.KMPR胶既可以采用有机溶剂进行显影,也可以采用碱性显影液,更利于环保.通过对比有机溶剂(PGMEA)和碱性显影液(KOH溶液、四甲基氢氧化铵TMAH溶液)对KMPR光刻胶的显影效果,得到最佳水溶液显影液——氢氧化钾(KOH)显影液及其显影的较佳浓度范围,研究了温度对KMPR光刻胶显影的影响,进而对显影机理进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李发宏	华南师范大学华南先进光电子研究院彩色动态电子纸显示技术研究所	2	3	1.0	1.0
2	Robert A.HAYES	华南师范大学华南先进光电子研究院彩色动态电子纸显示技术研究所	4	4	1.0	2.0
3	水玲玲	华南师范大学华南先进光电子研究院彩色动态电子纸显示技术研究所	10	12	2.0	3.0
4	李岚慧	华南师范大学华南先进光电子研究院彩色动态电子纸显示技术研究所	2	1	1.0	1.0
5	窦盈莹	华南师范大学华南先进光电子研究院彩色动态电子纸显示技术研究所	3	11	2.0	3.0