甲烷流量对类富勒烯碳基薄膜结构与摩擦学性能的影响

• 作者: 吴坤尧 孟志新 宗彦旭 李兆 杨常清 鲁媛媛 龚珍彬
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类富勒烯碳基薄膜 甲烷流量 力学性能 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 页码范围: 158-162
• 页数: 5页
• 分类号: TM242
• 字数: 3661字
• 语种: 中文

摘要

以甲烷为前驱体，采用等离子体增强化学气相沉积( PECVD)技术沉积类富勒烯碳基( FL-C∶H)薄膜于单晶硅<n-100>基底材料表面。利用高分辨透射电镜( HRTEM)和拉曼光谱仪( Ramman)对薄膜的结构形貌进行表征；通过原位纳米力学测试系统和摩擦磨损试验机分析比较薄膜在不同甲烷流量的情况下的力学特征及摩擦学特性。实验结果表明：所制备的碳基薄膜具有类富勒烯纳米结构特征，甲烷流量对类富勒烯碳基薄膜( FL-C∶H)的结构和性能具有较大的影响；薄膜的弹性模量、硬度以及薄膜中的类富勒烯结构随着甲烷流量的增加而减小，但是摩擦系数对甲烷流量的变化不敏感。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨常清	西安航空学院材料工程学院	14	34	3.0	5.0
2	龚珍彬	中国科学院兰州化学物理研究所先进润滑与防护材料研发中心	3	2	1.0	1.0
3	吴坤尧	西安航空学院材料工程学院	16	9	1.0	2.0
4	李兆	西安航空学院材料工程学院	20	13	2.0	2.0
5	鲁媛媛	西安航空学院材料工程学院	11	3	1.0	1.0
6	宗彦旭	西安航空学院材料工程学院	3	1	1.0	1.0
7	孟志新	西安航空学院材料工程学院	5	1	1.0	1.0