二维二硫化钼材料制备及表征研究

• 作者: 何凯 周新文 唐军利 崔玉青 席莎 朱琦
• 来源期刊: 中国钼业
• 学科: 工学
• 关键词: 二维 二硫化钼 表征 分析
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 钼化工
• 页码范围: 31-35
• 页数: 5页
• 分类号: TF111.34
• 字数: 2772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13384/j.cnki.cmi.1006-2602.2017.02.007

摘要

本文采用硫粉和三氧化钼为原料,通过化学气相沉积法在Si/SiO2基片表面沉积二硫化钼薄膜,通过大量试验证明:将基片进行硫化预处理后,在一定的温度和Ar气流量下,即可制备出三角形貌的二硫化钼薄膜.最后采用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱分析对所制备的二硫化钼产品进行表征研究.结果表明:该方法制备得到的产品为二维二硫化钼,晶体形貌为三角形,其厚度小于5 nm,部分可达到1 nm,拉曼光谱进一步验证产品的层数范围.而XPS检测分析确认CVD沉积所得薄膜为二硫化钼.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周新文		21	89	5.0	8.0
2	唐军利		20	66	5.0	7.0
3	朱琦		19	87	5.0	8.0
4	席莎		15	8	2.0	2.0
5	何凯		18	18	3.0	3.0
6	崔玉青		27	37	4.0	4.0