MEMS用硅单晶缺陷对各向异性腐蚀的影响

• 作者: 杨洪星 杨静 韩焕鹏
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 硅单晶 各向异性腐蚀 氧杂质浓度 微缺陷 氧沉淀
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 720-724
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.12
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.10.012

摘要

为了满足微电子机械系统(MEMS)器件制作要求,各向异性腐蚀加工后的硅衬底需具有良好的表面质量.针对MEMS用硅单晶在各向异性腐蚀加工过程中出现的腐蚀表面粗糙、不平整问题,采用常规直拉(Cz)单晶、掺锗直拉单晶和磁场直拉单晶等不同工艺制备了多种硅单晶样品,并测试了其常规电参数、氧杂质浓度和微缺陷等参数.针对各种硅单晶样品,模拟了器件制作过程中各向异性腐蚀实验,获得了硅单晶的腐蚀表面情况,对比得出了影响硅单晶各向异性腐蚀质量的关键因素在于硅单晶内的氧杂质浓度及氧沉淀密度的控制,并从原子表面能和应力等方面推断晶体中氧沉淀缺陷对各向异性腐蚀质量的影响机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩焕鹏	中国电子科技集团公司第四十六研究所	28	43	4.0	5.0
2	杨静	中国电子科技集团公司第四十六研究所	28	39	4.0	5.0
3	杨洪星	中国电子科技集团公司第四十六研究所	50	145	6.0	8.0