开展磁控溅射镀膜探索研究性实验课程的尝试

• 作者: 牟宗信 王奇 王艳辉 赵纪军
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 教育
• 关键词: 探索研究性实验 镀膜技术 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 专题
• 页码范围: 34-38
• 页数: 5页
• 分类号: G642.423|O484.1|O539
• 字数: 4930字
• 语种: 中文

摘要

磁控溅射镀膜实验涵盖了理工科大学生所认知的真空、高电压、材料制备等知识.结合大连理工大学国家级物理实验教学示范中心在探索研究性实验方面积累的教学经验与方法、等离子体物理国家重点学科的知识储备以及三束材料改性教育部重点实验室自主开发、手动操作的磁控溅射镀膜设备的优势,尝试将磁控溅射镀膜用于大学探索研究性实验教学.介绍了开展此实验所需的知识构成与设备模块,阐述了实验的设计思想与方法、开展实验的前期准备、课堂组织、注意事项,分析了课程实施的主要困难,并给出了解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵纪军	大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室	31	160	6.0	12.0
2	王艳辉	大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室	17	155	6.0	12.0
3	牟宗信	大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室	38	217	10.0	12.0
4	王奇	大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室	16	13	2.0	2.0