基于PZT压电薄膜的压力传感器工艺研究

• 作者: 刘园园 谭晓兰
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 敏感材料 PZT压电薄膜 MEMS压力传感器 溶胶-凝胶(Sol-Gel) 叉指电极
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 页码范围: 945-949
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TP212
• 字数: 3276字
• 语种: 中文

摘要

选用敏感材料锆钛酸铅(PZT),优化微机电系统(MEMS)微加工工艺,制作了硅基PZT压电薄膜叉指式电极结构的MEMS压力传感器.在基体Au/Ti/LNO/SiO2/Si＜100＞上,采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,在650℃高温下采用分层退火的方式进行退火,得到厚1.2 μm的PZT压电薄膜.薄膜表面均匀,无裂纹.利用光刻工艺和低压溅射工艺得到平行叉指电极.制作完成PZT压电薄膜结构的微压力传感器,在弹性薄膜上施加压力,其电压输出性能较好,说明基于压电薄膜的叉指电极结构可行,为基于纳米纤维结构的微压力传感器的制作奠定了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭晓兰	北方工业大学机械与材料工程学院	38	251	8.0	15.0
2	刘园园	北方工业大学机械与材料工程学院	2	1	1.0	1.0