单片集成三轴微机电陀螺仪

• 作者: 徐宇新 赵克 邢朝洋
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 交通运输
• 关键词: 单片三轴 微机电 陀螺仪 零偏稳定性
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 仪表与电路
• 页码范围: 58-63
• 页数: 6页
• 分类号: U666.12+3
• 字数: 1886字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2017.02.011

摘要

为使陀螺仪进一步小型化、集成化,提出了一种新型单片集成三轴微机电陀螺仪,该陀螺仪采用单一MEMS结构芯片实现3个轴向角速度的测量.介绍了单片三轴陀螺仪工作方式、结构设计以及电路原理,完成了MEMS结构的流片加工,对陀螺仪表头和整机进行了测试,单片三轴微机电陀螺仪x轴、y轴和z轴零偏稳定性分别达到53.4(°)/h、70.8(°)/h和18.4(°)/h,非线性度分别为1.59×10-4、3.3×10-4和2.18×10-4.该陀螺仪具有三轴角速率检测效应,具有集成度高、体积小的优势,具有较强的应用潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐宇新		12	15	2.0	3.0
2	邢朝洋		19	43	3.0	5.0
3	赵克		2	4	1.0	2.0