InSb衬底表面的氧化层研究

• 作者: 柏伟 赵秀峰 赵超
• 来源期刊: 红外
• 学科: 工学
• 关键词: 高工作温度 InSb 表面氧化层 CP4A
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 12-17,22
• 页数: 7页
• 分类号: TN213
• 字数: 3718字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-8785.2017.01.003

摘要

能在高温下工作的InSb基InAlSb红外探测器是新一代红外探测器的发展方向.对衬底表面氧化层的研究是该研究方向的基础.利用椭偏仪(Spectroscopic Ellipsometry, SE)、X射线光电子能谱分析(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)对用现工艺生长的InSb衬底表面氧化层进行了分析.从常用的腐蚀液中挑选了较优的腐蚀液,调节配比,试验加入无机酸后的效果,获得了较优的表面氧化层处理液.对处理后的表面氧化层的稳定性进行了对比,分析了其主要成分的变化,最终获得了满足Epi-ready InSb晶片表面氧化层参数的衬底,为后面高温工作探测组件的研究打好了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵超		13	15	2.0	3.0
2	赵秀峰		2	4	1.0	2.0
3	柏伟		7	7	1.0	1.0