光学石英玻璃用抛光液的研究

• 作者: 李妹明 谭立 马杰
• 来源期刊: 云南科技管理
• 学科: 工学
• 关键词: 光学石英玻璃 氧化铈 二氧化硅 抛光液 悬浮性能
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 百家论坛
• 页码范围: 71-73
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 2149字
• 语种: 中文

摘要

通过对光学石英玻璃用抛光液的颗粒、形貌、成分对抛光液悬浮性及抛光性能的影响的研究.结果表明:光学石英玻璃的机械强度高,可加工性能差,光学石英玻璃用抛光液为硬度较高的氧化铈为主要磨料、二氧化硅为辅助磨料的掺杂型复合磨料抛光液.二氧化硅的加入提高了抛光液的悬浮性能,作为光学石英玻璃最后一道抛光工序用抛光液,其磨粒平均粒径为60nm的氧化铈颗粒,最大粒径小于l00nm,二氧化硅的平均粒径为20nm,达到了光学石英玻璃抛光工序标准和要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李妹明		3	1	1.0	1.0
2	马杰		1	0	0.0	0.0
3	谭立		3	0	0.0	0.0