DSM11镍基高温合金的双喷工艺探讨

• 作者: 冯辉 刘晓光 刘金民
• 来源期刊: 物理测试
• 关键词: 双喷减薄 薄膜 透射电镜 高温合金
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1001-0777.20170017

摘要

依据DSM11高温合金电压-电流密度曲线的拐点位置,系统设置双喷电压、电解液温度和透光阈值等工艺参数,联用透射电镜和光学显微镜评价样品薄膜质量,成功获得了一种改良的DSM11高温合金透射电镜样品的双喷工艺参数,重点讨论了双喷电压、电解液温度和透光阈值变化对薄膜的影响,并分析了电镜样品质量差异时的薄膜形貌特征与原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯辉	中国科学院金属研究所分析测试部	10	19	2.0	4.0
2	刘晓光	中国科学院金属研究所分析测试部	15	322	8.0	15.0
3	刘金民	中国科学院金属研究所分析测试部	3	9	2.0	3.0