高灵敏度宽频带一维MEMS矢量水听器

• 作者: 丁俊文 尚珍珍 张国军 张文栋 杨晟辉
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 压阻传感器 一维探测 ANSYS 共振频率
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 677-683
• 页数: 7页
• 分类号: TB565.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.10.005

摘要

针对目前纤毛式MEMS矢量水听器灵敏度和带宽的相互制约,无法实现在高灵敏度的情况下还能有较大的可测带宽.基于此,设计了一种单梁结构的一维MEMS矢量水听器,经理论分析和ANSYS仿真分析,确定了微结构的尺寸,仿真结果显示有挖空式结构较无挖空式结构在X轴最大应力上提高了5.12％,探测带宽增大了53.26％.并对挖空式微结构进行了工艺设计,简化了工艺流程,提高了成品率.最后,用矢量水听器校准装置进行测量,实验结果表明,该一维MEMS矢量水听器具有20～2 000 Hz的可测带宽,满足灵敏度每频程6 dB的增长趋势,具有良好的“8”字型指向性,凹点深度为-32.4 dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	75	334	8.0	13.0
2	张文栋	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
3	尚珍珍	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	8	11	2.0	2.0
4	丁俊文	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	10	2.0	2.0
5	杨晟辉	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	6	12	2.0	2.0