声表面波驱动的微混合器

• 作者: 何希文 吕瞳 李以贵 蔡金东 黄毅
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波(SAW) 剥离工艺 叉指结构 微混合器 液滴
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 671-676
• 页数: 6页
• 分类号: TB51
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.10.004

摘要

基于声表面波(SAW)驱动机理设计并仿真了一种微混合器,制备了由4个谐振频率为49.1 MHz的铜叉指式换能器(IDT)构成的SAW驱动的微混合器(IDT采用剥离工艺制备,使用的基片材料为128°YX型铌酸锂,每个IDT有5个叉指对,周期为80μm,指条宽度为5 μm,指条厚度为1.6μm),搭建了基于SAW微混合器驱动的微混合平台,实现了3μL甘油与1μL墨水两种液滴间的混合以及3μL蒸馏水液滴和平均直径为1.5tμm的红色微粒之间的混合.实验结果证明,在驱动功率为9W、驱动频率为49.13 MHz的电信号激励下,SAW微混合器可实现液滴间以及液滴和微粒间在1 s内的高速混合,并且液滴内部运动与其位于SAW微混合器的位置有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何希文	上海应用技术大学理学院	3	10	2.0	3.0
2	李以贵	上海应用技术大学理学院	24	34	4.0	4.0
3	蔡金东	上海应用技术大学机械工程学院	8	12	2.0	3.0
4	吕瞳	上海应用技术大学机械工程学院	2	6	2.0	2.0
5	黄毅	上海应用技术大学理学院	1	4	1.0	1.0