离子注入掺杂工艺研究

• 作者: 张文婷 徐向前 杨士慧 田红林
• 来源期刊: 智能电网
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 元素分布 高温退火
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 高压大功率SiC 材料、器件及应用
• 页码范围: 748-751
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 1050字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14171/j.2095-5944.sg.2017.08.003

摘要

本论文研究了离子注入的能量、剂量、温度等因素与注入后形成的深度、浓度分布的关系,以获得优化的离子注入条件;研究了离子注入后的退火温度、时间、保护层等因素对SiC表面粗糙度、元素分布的影响关系;研究了离子注入后SiC芯片退火时的保护,以防止材料升华等;分析离子注入及高温退火过程中诱生缺陷的形成机理,以获得优化的高温退火条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨士慧		3	7	2.0	2.0
2	徐向前		2	5	1.0	2.0
3	田红林		1	4	1.0	1.0
4	张文婷		1	4	1.0	1.0