特殊光伏锑化铟红外探测器的设计

• 作者: 冯攀 刘晞贤 王伟涛 苏小会 高丹
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光伏锑化铟 红外探测器 增透膜 限光片芯片 高探测率
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 新工艺 新技术
• 页码范围: 297-300
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 4111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2017.05.013

摘要

HX-2A红外探测器为光伏锑化铟探测器.为了提高响应速度,探测器芯片采用p-n结结构,其p型层厚度小于0.75μm,n型层厚度约为500μm.探测器芯片采用镀增透膜(减反膜)的方法来进一步提高探测率,同时为了增加光学限光片的可靠性,避免引起盲区变化,直接将限光片图形光刻到探测器芯片表面,制成限光片芯片.通过对光电元件的特殊设计及改进,HX-2A红外探测器与原有的HX-2低温光导锑化铟红外探测器相比,响应速度及探测率都有很大提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高丹		3	9	1.0	3.0
2	王伟涛		3	0	0.0	0.0
3	刘晞贤		2	2	1.0	1.0
4	苏小会		3	4	2.0	2.0
5	冯攀		1	0	0.0	0.0