硼含量对碳硼化合物结构、力学影响行为研究

• 作者: 乔振杰 冯倩 胡建宝 董绍明 马良来 高乐
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碳硼化合物 微观结构 力学性质 低压化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1228-1232
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174
• 字数: 950字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20170069

摘要

利用低压化学气相沉积技术,以BCl3-C3H6-H2为反应气体制备了不同掺硼量的热解碳薄膜BxC1-x(x=0.05,0.10,0.16,0.30,0.50),并研究了硼含量对BxC1-x微观结构及力学性能的影响.B0.1C0.9展现了高度结晶的类石墨结构,其中大部分B取代石墨层中的C.随着B含量上升,B主要形成B-C键,BxC1-x结构向无定型转变.纳米压痕测试结果显示,B0.1C0.9的弹性模量和硬度较低,载荷位移曲线显示其力学变形接近弹性变形,随着B含量增加,碳化硼生成量增加,其弹性模量和硬度显著提升,载荷位移曲线表现出典型的脆性材料力学行为.