基于磨角染色法的结深测试及新应用

• 作者: 刘剑 孙楠楠
• 来源期刊: 微处理机
• 学科: 工学
• 关键词: 磨角染色法 磨角器 结深测试 PN结
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 大规模集成电路设计、制造与应用
• 页码范围: 47-51
• 页数: 5页
• 分类号: TN43
• 字数: 2547字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2017.06.011

摘要

通过传统的磨角染色法,利用不同染色液工作机理的不同,使PN结两侧的不同掺杂区域发生差异化上色,并运用光学干涉法产生干涉条纹,从而对半导体制造生产实践中至关重要的结深信息进行读取,至今仍具有重要的现实意义.通过对相关工作原理、光学原理、化学原理等的描述,详细介绍了磨角染色法的完整实施流程.对磨角染色法的特点进行了归纳,并通过具体实例的列举与分析,提出了传统磨角染色法在结深测试之外的其他方面的新应用,包括磨角染色法在管芯解剖分析、PCM测试管功能异常分析及离子注入工序生产故障的取证等方面发挥的全新的重要作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘剑	中国电子科技集团公司第四十七研究所	16	33	4.0	5.0
2	孙楠楠	中国电子科技集团公司第四十七研究所	2	1	1.0	1.0