三阴极级联弧源下氦等离子体的特性研究

• 作者: 张志艳 曹小岗 芶富均 韦建军 韩磊 马小春
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电子密度 电子温度 热负荷 离子通量
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 1102-1107
• 页数: 6页
• 分类号: TL65+1|TL65+7
• 字数: 4199字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.11.12

摘要

采用课题组自行研制的高密度低温三阴极等离子体源研究了氦等离子体的基本特性,拟为研究边缘氦等离子体与偏滤器材料的相互作用提供参数.研究结果表明:①氦等离子体电子温度、电子密度均随氦气流量、磁场、电流的增大呈线性增加趋势.其中,电子密度可达1019m-3,电子温度小于1 eV.②氦等离子体的热负荷及离子通量随磁场、流量的增加而增加,且离子通量可达1022/m2s1,热负荷可达19.68 kW/m2;③氦原子光谱随放电电流、氦气流量的增大而增大;④距喷口29 cm处的整个截面通过的离子数可达1019/s,约为输入粒子总数的1%左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韦建军	四川大学原子与分子物理研究所	57	239	8.0	12.0
2	芶富均	四川大学原子核科学技术研究所	12	6	2.0	2.0
3	韩磊	四川大学原子与分子物理研究所	12	20	2.0	4.0
4	张志艳	四川大学原子与分子物理研究所	2	0	0.0	0.0
5	曹小岗	四川大学原子核科学技术研究所	11	6	1.0	2.0
6	马小春	四川大学原子核科学技术研究所	3	1	1.0	1.0