平行光干涉投影三维形貌恢复方法

• 作者: 刘会艳 宋宝根 王一
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 三维形貌测量 相位高度映射 傅立叶变换轮廓术 系统标定 平行光干涉投影
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 光学计量与测试
• 页码范围: 798-803
• 页数: 6页
• 分类号: TN25|TH741
• 字数: 3075字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201738.0503004

摘要

传统傅立叶变换轮廓术多采用散光斜式投影,需要满足4个约束条件才能得到较为准确的相位与高度映射关系,并且散光投影带来的相位非线性二次项误差也会降低形貌恢复精度.为了能在欠约束条件下减少相位非线性误差的影响,建立了基于平行光干涉投影下的普适模型.平行光干涉投影下的参考平面相位沿着x轴呈线性变化,相位分布较散光或倾斜式投影更具准确性.对比分析了散光及平行光投影下被测物体的恢复情况,实验结果表明,新模型在欠约束条件下,具有较高的灵活性和可操作性,恢复精度良好,相对误差为1.1％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王一	华北理工大学电气工程学院	19	59	4.0	7.0
2	刘会艳	华北理工大学电气工程学院	3	5	1.0	2.0
3	宋宝根	华北理工大学电气工程学院	4	5	1.0	2.0