激光透射成像法测量石英管的外径与壁厚

• 作者: 张景超 肖长江
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体激光 透射成像 石英管 外径 壁厚
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 481-487
• 页数: 7页
• 分类号: O439|TN29
• 语种: 中文

摘要

为了同时同位测量石英管的外径和壁厚,建立了激光透射成像系统,对系统测量原理进行研究.基于几何光学和菲涅尔公式,分别导出平行光垂直照射石英管后的透射光线偏向角、相对光强与入射光线离轴距离之间的关系;通过数值计算,分析了偏向角、相对透射光强随入射光线离轴距离的变化特点;针对物方远心光路,分析了光阑对偏向角和相对光强的限制;基于CCD成像原理,通过引入标定系数和补偿因子,导出石英管外径与壁厚的计算公式.实验结果表明:外径绝对误差和相对误差的平均值分别为0.119 m m和0.91%,壁厚绝对误差和相对误差的平均值分别为0.153 m m和6%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张景超	燕山大学理学院	39	438	11.0	19.0
2	肖长江	燕山大学理学院	19	88	5.0	9.0